Prima mașină de copiat pentru birouri utilizată pe scară largă a fost inventată de James Watt în 1779. Se baza pe transferarea fizică a unei părți din cerneală (special preparată) de la o scrisoare sau un desen originale la o foaie de hârtie subțire umezită necalibrată prin intermediul unei prese. Copia putea fi apoi citită de pe avers. Sistemul a fost un succes comercial și s-a aflat în uz mai bine de un secol.
În 1937, fizicianul bulgar Georgi Nadjakov a aflat că, atunci când sunt plasate într-un câmp electric și expuse la lumină, uneledielectrice dobândesc polarizare electrică permanentă în zonele expuse. Această polarizare persistă în întuneric și este eliminată de lumină.
Chester Carlson, inventatorul fotocopierii, era inițial un avocat de brevete, ca și cercetător și inventator în timpul liber. Locul său de muncă la oficiul de brevete din New York presupunea executarea unui număr mare de copii ale documentelor importante. Lui Carlson, care era artritic, acest proces i se părea a fi dureros și anost. Acest lucru l-a motivat să facă experimente cufotoconductivitatea. Carlson și-a folosit bucătăria pentru experimentele „electrofotografice” și, în 1938, a depus cerere pentru a obține un brevet al acestui proces. A făcut prima fotocopie folosind o plăcuță de zinc acoperită cu sulf. Cuvintele „10-22-38 Astoria” au fost scrise pe port-obiectul microscopului, care a fost plasat deasupra a mai mult sulf și sub o lumină puternică. După îndepărtarea port-obiectului, a rămas o imagine în oglindă a cuvintelor. Carlson a încercat să-și vândă invenția unor companii, a eșuat însă deoarece procesul era încă subdezvoltat. La acea vreme, copiile multiple erau făcute de obicei în momentul realizării documentului original, folosind indigoul sau mașinile de multiplicat manuale, oamenii nevăzând necesitatea unei mașini electronice. Între 1939 și 1944, Carlson a fost refuzat de peste 20 de companii, inclusiv IBM și General Electric, niciuna dintre ele considerând că exista o piață semnificativă pentru copiatoare.
În 1944, Battelle Memorial Institute, o organizație nonprofit din Columbus, Ohio, a încheiat un contract cu Carlson pentru a perfecționa noul său proces. Pe parcursul următorilor cinci ani, institutul a efectuat experimente pentru a îmbunătăți procesul electrofotografiei. În 1947, Haloid Corporation (un mic fabricant și distribuitor de hârtie fotografică, cu sediul în New York) a abordat institutul Battelle în scopul obținerii unei licențe pentru dezvoltarea și comercializarea unei mașini de copiat bazată pe această tehnologie.
În opinia companiei Haloid, cuvântul „electrofotografie” era prea complicat și nu putea fi reamintit ușor. După consultatea unui profesor de limbă clasică de la Universitatea Statului Ohio, Haloid și Carlson au schimbat numele procesului în „xerografie”, care fusese derivat din cuvinte grecești însemnând „scriere uscată”. Haloid a numit noile mașini de copiat „Mașini Xerox” și, în 1948, cuvântul „Xerox” a devenit marcă înregistrată. Haloid și-a schimbat în cele din urmă numele în Xerox Corporation.
În 1949, Xerox Corporation a introdus primul copiator xerografic numit Model A. Succesul companiei Xerox a fost atât de mare încât, în America de Nord, fotocopierea a ajuns să fie cunoscută în rândul populației ca „xeroxare”. Compania Xerox a luptat activ pentru a preveni ca numele său să devină o marcă înregistrată generalizată. În timp ce cuvântul „Xerox” a apărut în unele dicționare ca sinonim pentru fotocopiere, Xerox Corporation solicită de obicei ca asemenea listări să fie modificate și ca oamenii să nu folosească numele „Xerox” în acest mod. Unele limbi includ termeni hibrizi, precum răspânditul termen polonez „kserokopia” („xerocopie”), chiar dacă relativ puține fotocopiatoare sunt marca Xerox.
La începutul anilor 1950, Radio Corporation of America (RCA) a introdus o variație a procesului numit Electrofax, prin care imaginile sunt formate direct pe o hârtie cu înveliș special și redate cu un pigment dispersat într-un lichid.
Pe durata anilor 1960 și prin anii 1980, Savin Corporation a dezvoltat și vândut o linie de copiatoare cu pigment lichid care breveta o tehnologie bazată pe niște brevete deținute de companie.
Înaintea adoptării pe scară largă a copiatoarelor xerografice, erau folosite copiile foto-directe produse de mașini precum Verifaxul de la Kodak. Un obstacol principal asociat cu tehnologiile prexerografice îl reprezenta costul ridicat al rezervelor: o copie Verifax necesita rezerve în valoare de 0,15$ (dolari americani) în 1969, în timp ce o copie Xerox putea fi făcută pentru 0,03$ inclusiv hârtia și mâna de lucru. La acea vreme, mașinile de fotocopiat Thermofax din biblioteci puteau face copii de mărimea unei scrisori pentru 0,25$ sau mai mult (într-o vreme în care salariul minim pentru un muncitor din SUA era de 1,65$/oră).
Fabricanții de copiatoare xerografice au profitat de valoarea percepută ridicată din anii 1960 și 1970 timpurii, punând pe piață hârtie care era „proiectată specific” pentru uzul xerografic. Până la sfârșitul anilor 1970, producătorii de hârtie au făcut „compatibilitatea” xerografică una dintre cerințele pentru majoritatea mărcilor lor de hârtie pentru birou.
Unele dispozitive vândute ca fotocopiatoare au înlocuit procesul pe bază de tambur cu tehnologie cu jet de cerneală sau peliculă de transfer.
Printre avantajele cheie ale fotocopiatoarelor față de tehnologiile de copiere mai timpurii se numără abilitățile lor de a:
- folosi hârtie de birou simplă (netratată),
- implementa imprimarea duplex (sau față-verso) și, în cele din urmă,
- de a sorta și/sau capsa documentele rezultate.